在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作,由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂,内部有很多管道和传动机构,有的体积很大,达几十立方米,甚至数百立方米,连接管道和内部管道的总长度可达几公里,焊缝、氦质谱检漏仪,氦检仪圈的总长度可达数十公里,必须投人很大力量对设备严格进行检漏,所以且应该从设备开始设计时起就考虑检漏问题。如果等到进行安装时再考虑检漏问题就可能给氦质谱检漏仪,氦检仪的检漏工作带来很大困难。氦检仪在电厂检漏领域被普遍使用。多功能氦质谱检漏仪使用方法
氦检仪应用领域:工业:真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束线、同步辐射光源。科研领域:空间模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统。半导体及电子:工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装。汽车制冷:蒸发器、空调、管路。核工业:核电阀门、核容器。航空航天:空间模拟器、航天器、管路。电厂:管道、蒸汽发生器、热交换器、冷凝器。氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,此外氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。多功能氦质谱检漏仪使用方法氦质谱检漏仪被普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。
氦检仪的示踪气体也可以是其他元素,但通常选用氦气,因为氦气具有以下特性:①氦气在空气中的含量极少,只占约二十万分之一,这样氦气的本底值就小,有利于发现极微量的氦气;②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔,易于检测也易于清理;③氦离子荷质比小,易于进行质谱分析;④氦气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤任何设备;⑤氦气无毒,不凝结,极难容于水。氦质谱检漏技术用于火力发电厂的检漏工作,具有操作方便、灵敏度高和无损伤性等优点,特别是可以在正常运行中准确快捷地对机组进行检漏,减少停机带来的经济损失。
氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体?1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
氦检仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。影响氦检仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。当发现氦检仪的灵敏度降低,而氦检仪的工作真空度状态良好,放大器的各级工作电压也符合标准要求,就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏。温州氦质谱检漏仪工作原理
氦检仪喷氦法检测灵敏度高,可精确定位。多功能氦质谱检漏仪使用方法
使用氦检仪需注意的几个问题:(1)检漏方法的选择:目前,电厂采用氦检仪检漏通常采用负压采样法,该方法操作简便,但仪器的清理时间较长。根据被检系统的不同也可以采用真空法检漏,即将氦检仪的测试口直接接至真空系统的抽气管道上,通过节流阀调节气流以衰减氦检仪与真空系统间的压差,使氦检仪正常工作,该方法检漏效率稍高,但安装较为复杂。(2)仪器灵敏度:灵敏度的高低直接影响检漏的效果。氦检仪经过一段时间的使用后,灵敏度会有所下降,严重时对纯氦无反应。因此,平时应该经常保持仪器,特别是质谱室的清洁,定期打开气镇阀运行一段时间,并给旋片真空泵换油,这样可以减少仪器对氦的记忆效应。另外还要定期用标准漏孔对仪器的灵敏度进行校验,使氦检仪始终保持较佳的工作状态。多功能氦质谱检漏仪使用方法
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