上海氦质谱检漏仪使用方法 上海睿德励柯仪器仪表供应

氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器，结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性，而在结构组成上，大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的：质谱室是这种真空氦检仪器的心脏，又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分；真空系统用于为质谱室提供真空工作条件，保证氦离子的传输率；电气系统的重点功能就是为质谱室供电与测量。另外在有些条件下，氦质谱检漏可能还会需要辅助真空系统，完成一些预抽、保证氦检仪真空度等工作。氦检仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。上海氦质谱检漏仪使用方法

氦检仪的捡漏方法：正压法（吸入法）。可分为真空箱法和正压法两张模式，工件内充氦气，吸抢检测可根据工件漏率选择性充入一定比例混合氦气可检测工件的具体漏点。检测精度高。适用行业：特种阀门，高压管道，制冷管路，汽轮机组等。因为空气中含有5ppm的氦气，正压法检漏灵敏度相对负压法要低。氦检仪正压法有二种方式,即移动嗅探式和氦罩累积式。前者只能定性检测大漏,后者则可定量检测微漏。氦质谱检漏正压氦罩法注意事项：氦罩要专门设计,一般用金属制作(塑料布在长时间累积中渗透量太大)。如果累积时间短,也可用0.10～0.15mm的塑料布制作。检测时氦罩应尽量小,以便提高氦的压升率。氦罩要密封。探测口要方便检测。检漏过程中,仪器灵敏度和吸头在校准后不得进行调整,否则要重新进行校准。吸头不应一直插在检测口内,以免影响累积信号。在低温探测时,环境湿度应尽量降低,被检件应先加高压示漏气体而后降温,以免小孔阻塞。金华移动式氦质谱检漏仪费用氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护？

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。

影响氦质谱检漏仪检测精度的因素：1、受到检测压力的影响，泄漏率对测试压力的依赖性，对不同的测量条件是不同的。一般而言，对于多孔性(如铸造气泡、裂缝)较高时，试验压力对泄漏率的影响较大，而对于多孔性较低时则影响较小。另外，随测试压力的增高，还会带来诸如温度影响，所需稳定时间加长等一系列问题。因此，建议对特定的工件可采用在一定压力范围内进行泄漏检测，然后选择一个满足测试要求的较低的压力确定为它的测试压力。2、受到检测容积的影响，在一个特定的泄漏率值里，如果检测容积增大的话，那么相应的压力降低的速度就越低，因而测量时间需要相应增加。在一些特定的条件下，如果不想方设法减少测量容积，那么可能会无法达到测量需要的精确度和灵敏度。氦质谱检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养。

选择氦质谱检漏仪检漏方法的原则：1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合体现。为找到一个单个漏孔，所选择检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，而必须选用的氦质谱检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W。2、根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。为保证测试漏率真实有效：（1）标准漏孔每年送有专业资质计量单位计量；（2）使用两年以上建议更换标准漏孔。氦质谱检漏仪是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。上海氦质谱检漏仪原理

氦检仪在电厂检漏领域被普遍使用。上海氦质谱检漏仪使用方法

氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气，因为氦气具有以下特性：①氦气在空气中的含量极少，只占约二十万分之一，这样氦气的本底值就小，有利于发现极微量的氦气;②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔，易于检测也易于清理;③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析;④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备;⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。氦质谱检漏技术用于火力发电厂的检漏工作,具有操作方便、灵敏度高和无损伤性等优点,特别是可以在正常运行中准确快捷地对机组进行检漏,减少停机带来的经济损失。上海氦质谱检漏仪使用方法

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