温州分体式氦质谱检漏仪定制 上海睿德励柯仪器仪表供应

氦检仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。影响氦检仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。当发现氦检仪的灵敏度降低，而氦检仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。温州分体式氦质谱检漏仪定制

氦检仪的捡漏方法有哪些？背压法（压氦法）真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气，迫使氦气进入泄漏工件，再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业：电子元器件，电子封装等。氦质谱检漏背压法优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。常州进口氦质谱检漏仪厂家质谱室是氦检仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。

影响氦质谱检漏仪检测精度的因素：1、受到检测压力的影响，泄漏率对测试压力的依赖性，对不同的测量条件是不同的。一般而言，对于多孔性(如铸造气泡、裂缝)较高时，试验压力对泄漏率的影响较大，而对于多孔性较低时则影响较小。另外，随测试压力的增高，还会带来诸如温度影响，所需稳定时间加长等一系列问题。因此，建议对特定的工件可采用在一定压力范围内进行泄漏检测，然后选择一个满足测试要求的较低的压力确定为它的测试压力。2、受到检测容积的影响，在一个特定的泄漏率值里，如果检测容积增大的话，那么相应的压力降低的速度就越低，因而测量时间需要相应增加。在一些特定的条件下，如果不想方设法减少测量容积，那么可能会无法达到测量需要的精确度和灵敏度。

氦质谱检漏仪在使用时需注意哪些问题？1、氦质谱检漏仪实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于所喷出的氦气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使氦气的浓度有所降低。二是喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。2、检漏次序：从被检件物体的上方至下方，由近处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。3、检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔。4、当存在两个相距很近的可疑的漏孔点时，应先把一个点盖住，再对另一点进行喷氦。5、当喷在某一点时，如果，检漏仪上的显示有变化，其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。氦质谱检漏仪的质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的要定期保养维护。

提高氦质谱检漏仪灵敏度方法：1、尽量开大节流阀。2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后，关闭工件与外接泵之间的阀门)。3、将工件用塑料袋包扎，袋内再充入氦气，(但此法不能测出具体漏点)。4、使用液氮，全开节流阀，采用不分流检漏，必要时可将抽速阀关小。氦质谱检漏仪日常维护：1、定期更换灯丝，清洗冷规。2、定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦质谱检漏仪部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。氦质谱检漏仪在运行过程中不能移动。常州进口氦质谱检漏仪厂家

掌握和了解氦检仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。温州分体式氦质谱检漏仪定制

氦检仪的工作原理：氦检仪先在质谱室中将采集的被测气体电离，再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子，主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是氦检仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分，分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性，氦气的压缩比很小，可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离，氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极，产生一个正比于离子数量的电流信号，该信号经过放大和处理即为泄漏率。温州分体式氦质谱检漏仪定制

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