氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种。南京移动式氦质谱检漏仪多少钱
提高氦质谱检漏仪灵敏度方法:1、尽量开大节流阀。2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后,关闭工件与外接泵之间的阀门)。3、将工件用塑料袋包扎,袋内再充入氦气,(但此法不能测出具体漏点)。4、使用液氮,全开节流阀,采用不分流检漏,必要时可将抽速阀关小。氦质谱检漏仪日常维护:1、定期更换灯丝,清洗冷规。2、定期更换机械泵油,适时对机械泵加油。3、如加液氮,需定期清洗冷阱。4、拆卸氦质谱检漏仪部件后,安装时要避免安装处出现泄漏。5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗,排除漏点。南京移动式氦质谱检漏仪多少钱专业用于电厂检漏的氦检仪关键部件均为进口,性能稳定可靠。
氦质谱检漏仪在使用时需注意哪些问题?1、氦质谱检漏仪实际的检漏灵敏度比理论计算值低,一是由于所喷出的氦气流是散开的,故掺有一定数量的空气,使氦气的浓度有所降低。二是喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向,此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。2、检漏次序:从被检件物体的上方至下方,由近处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。3、检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔。4、当存在两个相距很近的可疑的漏孔点时,应先把一个点盖住,再对另一点进行喷氦。5、当喷在某一点时,如果,检漏仪上的显示有变化,其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。
氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理:一、机械维护,检查泵的油量,如果低于低标线,则加入泵油;如果变黑或浑浊,则更换泵。使用方法见机械泵说明书。二、清洗,泄漏探测器没有氦进入,但有一定的泄漏率指示,长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气,在检漏时又被释放,造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪,在氦质谱检漏仪下方设置过滤器,将其拆下,用酒精浸泡清洗。检查泄漏,用棉布擦拭波纹管。三、以下是常见的故障现象、原因及解决方法。断电:1.电源线连接不当;2、保险管熔断。3、重新接通电源。4.更换相同规格的保险管。氦检仪的实际应用方案很多,常用的三种检漏方法有负压法(抽真空),正压法(吸入法)和背压法(压氦法)。
氦质谱检漏仪常见的几种检漏法:1、负压法检漏,负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同,需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。2、压氦法检漏,压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中,然后连至检漏仪将其抽空,示踪气体通过漏孔泄漏出来,经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。浙江多功能氦质谱检漏仪售后服务
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使用氦检仪需注意的几个问题:(1)检漏方法的选择:目前,电厂采用氦检仪检漏通常采用负压采样法,该方法操作简便,但仪器的清理时间较长。根据被检系统的不同也可以采用真空法检漏,即将氦检仪的测试口直接接至真空系统的抽气管道上,通过节流阀调节气流以衰减氦检仪与真空系统间的压差,使氦检仪正常工作,该方法检漏效率稍高,但安装较为复杂。(2)仪器灵敏度:灵敏度的高低直接影响检漏的效果。氦检仪经过一段时间的使用后,灵敏度会有所下降,严重时对纯氦无反应。因此,平时应该经常保持仪器,特别是质谱室的清洁,定期打开气镇阀运行一段时间,并给旋片真空泵换油,这样可以减少仪器对氦的记忆效应。另外还要定期用标准漏孔对仪器的灵敏度进行校验,使氦检仪始终保持较佳的工作状态。南京移动式氦质谱检漏仪多少钱
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