氦质谱检漏仪在使用时需注意哪些问题?1、氦质谱检漏仪实际的检漏灵敏度比理论计算值低,一是由于所喷出的氦气流是散开的,故掺有一定数量的空气,使氦气的浓度有所降低。二是喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向,此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。2、检漏次序:从被检件物体的上方至下方,由近处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。3、检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔。4、当存在两个相距很近的可疑的漏孔点时,应先把一个点盖住,再对另一点进行喷氦。5、当喷在某一点时,如果,检漏仪上的显示有变化,其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响。嘉兴模块式氦质谱检漏仪单位
氦检仪在使用过程中需特别注意以下几点:①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动氦检仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。③氦检仪应按照说明书的要求定期进行保养,保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。④氦检仪在运行了2000h后应对前级泵进行维修和保养,运行7000h分子泵进行维护和保养。苏州移动式氦质谱检漏仪工作原理影响氦质谱检漏仪检测精度的原因是什么?
氦质谱检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点:①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。③氦质谱检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养,保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。
氦质谱检漏仪的灵敏度,通常指仪器的可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于较佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到稳定值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时,才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声,一般指在2min内输出仪表的较大的波动量,能较方便地估计检漏效果。氦质谱检漏仪是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦检仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。苏州移动式氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的优点。嘉兴模块式氦质谱检漏仪单位
氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点,是真空检漏技术中灵敏度较高,用得比较多的检漏仪器。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。嘉兴模块式氦质谱检漏仪单位
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