在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作,由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂,内部有很多管道和传动机构,有的体积很大,达几十立方米,甚至数百立方米,连接管道和内部管道的总长度可达几公里,焊缝、氦质谱检漏仪,氦检仪圈的总长度可达数十公里,必须投人很大力量对设备严格进行检漏,所以且应该从设备开始设计时起就考虑检漏问题。如果等到进行安装时再考虑检漏间题就可能给氦质谱检漏仪,氦检仪的检漏工作带来很大困难。不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。金华全自动氦质谱检漏仪厂家推荐
氦质谱检漏仪定期保养该怎么做?1.对氦质谱检漏仪真空系统进行保养时,由于常见氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成,因此在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空,当真空度达到规定压力后,再进入真空系统部分;被检件在检测前会被要求进行清洁前处理,以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统。否则将直接污染真空系统,甚至造成真空泵损坏。因此,对被检件的前处理以及对设备自身的保养清理十分重要。2.除了上述氦质谱检漏仪真空系统需要保养之外,还需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养,以及电磁阀组的超声清洗,此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护,避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。温州智能氦质谱检漏仪价格氦检仪为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题:1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染,就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大,必须选用抽泵抽速大的检漏仪,否则就要外加预抽泵。
氦质谱检漏仪调氦峰步骤:1、调氦峰方法:开漏孔开关,单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”,使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值,然后关漏孔开关,如表头指示值变小,说明氦质谱检漏仪接收到氦信号,即找到氦峰;如表头指示值不变,说明不是氦峰,则继续调“V”,直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。2、调氦峰分辨不好:①氦和重离子分辨差。②氦和轻离子分辨差。3、调氦峰信号小:①灯丝没正对电离盒上的电子入口。②灯丝离电离盒太远。③分辨不好。氦质谱检漏仪的的可检漏率是多少?
氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。多功能氦质谱检漏仪厂家推荐
氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局。金华全自动氦质谱检漏仪厂家推荐
氦质谱检漏仪常见的几种检漏法:1、负压法检漏,负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同,需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。2、压氦法检漏,压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中,然后连至检漏仪将其抽空,示踪气体通过漏孔泄漏出来,经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。金华全自动氦质谱检漏仪厂家推荐
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